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半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)該如何防靜電?

在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車間,由于芯片上的灰塵吸附,超大規(guī)模集成電路的產(chǎn)量將大大降低。生產(chǎn)車間的操作人員穿著干凈的工作服。如果人體充滿靜電,灰塵和污垢很容易被吸收。如果這些灰塵和污垢被帶到操作現(xiàn)場(chǎng),產(chǎn)品質(zhì)量將受到影響,產(chǎn)品性能將惡化,成品率將大大降低。如果吸附的灰塵顆粒的半徑大于線的寬度并且薄膜厚度較低,則產(chǎn)品最有可能報(bào)廢。

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因此,有必要在加工、生產(chǎn)和包裝過程中建立靜電保護(hù)系統(tǒng)。集成電路封裝生產(chǎn)線對(duì)靜電有更嚴(yán)格的要求。為保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)行,清潔車間應(yīng)完全用防靜電建筑材料裝飾,所有進(jìn)出清潔車間的人員應(yīng)配備防靜電服裝等硬件措施。此外,包裝企業(yè)可根據(jù)相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)實(shí)際情況制定企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或防靜電的具體要求,配合包裝生產(chǎn)線的正常運(yùn)行。

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由于除塵靜電設(shè)備種類繁多,如何選擇適合自己的產(chǎn)品主要取決于生產(chǎn)線上的條件。以下描述了幾種可以除塵和靜電的裝置:

1、離子風(fēng)扇:?離子風(fēng)扇的主要作用是除靜電,具有出眾的除靜電性能,防止靜電污染及破壞。 用于電子生產(chǎn)線防止靜電放電(ESD)現(xiàn)象,維修臺(tái)等個(gè)人型靜電防護(hù)區(qū)域(EPA)的理想設(shè)備。是專為局部區(qū)域而設(shè)計(jì)的。具有體積小,重量輕,安裝方便等特點(diǎn)。

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2、離子風(fēng)棒:最小180mm長(zhǎng)度? ?實(shí)現(xiàn)600-800mm范圍除靜電適用于狹小空間快速除靜電要求

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3、離子風(fēng)嘴: 有三種款式:普通、感應(yīng)和踏板,可以滿足生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)不同環(huán)境下客戶的需求。離子風(fēng)蛇適用于有空間放置、不需要人員操作的車站,但吹塵方向需要經(jīng)常調(diào)整。

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除上述產(chǎn)品外,隨著科學(xué)技術(shù),生產(chǎn)工藝及其現(xiàn)代化高效管理的發(fā)展,很多防靜電的產(chǎn)品大量上市,如防靜電臺(tái)墊,防靜電手腕帶,防靜電地板,這類防靜電產(chǎn)品都要求與大地連接,離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓是否可靠等才能有效的將靜電釋放,但其接地是否良好、離子風(fēng)機(jī)殘留電壓等是否有效將靜電釋放,這得到人們的關(guān)注,成為一個(gè)新的靜電防護(hù)課題?;谝陨蠁栴},ITIS研發(fā)了多功能接地監(jiān)控系統(tǒng),智能靜電監(jiān)控方案對(duì)生產(chǎn)設(shè)備,防靜電手腕帶,防靜電臺(tái)墊,離子風(fēng)機(jī)都能實(shí)時(shí)有效的監(jiān)控并智能語(yǔ)音播報(bào),并通過上位機(jī)軟實(shí)時(shí)將監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)記錄于PC機(jī),便于管理及查閱。


六大行業(yè)需求? 按需定制

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十年以上ESD工程師為客戶提供一對(duì)一的靜電技術(shù)支持
10年以上經(jīng)驗(yàn)研發(fā)團(tuán)隊(duì)、設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)為客戶提供整體靜電定制方案

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Six Major Industries' Demand Customization

熱門關(guān)鍵詞:除靜電離子風(fēng)機(jī)? ? ?除靜電離子風(fēng)棒? ? ?智能靜電監(jiān)控? ??離子風(fēng)機(jī)? ? ?直流離子風(fēng)機(jī)

    ■? 客戶案例

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    ■? 聯(lián)系一致

    關(guān)鍵字:

    靜電監(jiān)控系統(tǒng),智能離子風(fēng)機(jī),靜電系統(tǒng)規(guī)劃

    TIME

    2021-05-26
    在整個(gè)半導(dǎo)體制造過程中,微粒污染;靜電放電損壞以及與此相關(guān)聯(lián)的設(shè)備停機(jī),是靜電帶來(lái)的 三大問題。所以必須對(duì)靜電加以控制。國(guó)際半導(dǎo)體發(fā)展路線圖和SEMI標(biāo)準(zhǔn)提出了將靜電控制在合適水準(zhǔn)上的建議。靜電控制方案包括了接地,靜電耗散材料和空氣電離化。為適應(yīng)快速發(fā)展的半導(dǎo)體生產(chǎn)所帶來(lái)的要求,靜電耗散材料、空氣離子器也在不斷進(jìn)行的變化。

    引言

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