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在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車間，由于芯片上的灰塵吸附，超大規(guī)模集成電路的產(chǎn)量將大大降低。生產(chǎn)車間的操作人員穿著干凈的工作服。如果人體充滿靜電，灰塵和污垢很容易被吸收。如果這些灰塵和污垢被帶到操作現(xiàn)場(chǎng)，產(chǎn)品質(zhì)量將受到影響，產(chǎn)品性能將惡化，成品率將大大降低。如果吸附的灰塵顆粒的半徑大于線的寬度并且薄膜厚度較低，則產(chǎn)品最有可能報(bào)廢。

因此，有必要在加工、生產(chǎn)和包裝過程中建立靜電保護(hù)系統(tǒng)。集成電路封裝生產(chǎn)線對(duì)靜電有更嚴(yán)格的要求。為保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)行，清潔車間應(yīng)完全用防靜電建筑材料裝飾，所有進(jìn)出清潔車間的人員應(yīng)配備防靜電服裝等硬件措施。此外，包裝企業(yè)可根據(jù)相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)實(shí)際情況制定企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或防靜電的具體要求，配合包裝生產(chǎn)線的正常運(yùn)行。

由于除塵靜電設(shè)備種類繁多，如何選擇適合自己的產(chǎn)品主要取決于生產(chǎn)線上的條件。以下描述了幾種可以除塵和靜電的裝置:

1、離子風(fēng)扇:?離子風(fēng)扇的主要作用是除靜電，具有出眾的除靜電性能，防止靜電污染及破壞。 用于電子生產(chǎn)線防止靜電放電(ESD)現(xiàn)象，維修臺(tái)等個(gè)人型靜電防護(hù)區(qū)域（EPA）的理想設(shè)備。是專為局部區(qū)域而設(shè)計(jì)的。具有體積小，重量輕，安裝方便等特點(diǎn)。

2、離子風(fēng)棒:最小180mm長(zhǎng)度? ?實(shí)現(xiàn)600-800mm范圍除靜電適用于狹小空間快速除靜電要求

3、離子風(fēng)嘴: 有三種款式:普通、感應(yīng)和踏板，可以滿足生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)不同環(huán)境下客戶的需求。離子風(fēng)蛇適用于有空間放置、不需要人員操作的車站，但吹塵方向需要經(jīng)常調(diào)整。

除上述產(chǎn)品外，隨著科學(xué)技術(shù)，生產(chǎn)工藝及其現(xiàn)代化高效管理的發(fā)展，很多防靜電的產(chǎn)品大量上市，如防靜電臺(tái)墊，防靜電手腕帶，防靜電地板，這類防靜電產(chǎn)品都要求與大地連接，離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓是否可靠等才能有效的將靜電釋放，但其接地是否良好、離子風(fēng)機(jī)殘留電壓等是否有效將靜電釋放，這得到人們的關(guān)注，成為一個(gè)新的靜電防護(hù)課題?；谝陨蠁栴}，ITIS研發(fā)了多功能接地監(jiān)控系統(tǒng)，智能靜電監(jiān)控方案對(duì)生產(chǎn)設(shè)備，防靜電手腕帶，防靜電臺(tái)墊，離子風(fēng)機(jī)都能實(shí)時(shí)有效的監(jiān)控并智能語(yǔ)音播報(bào)，并通過上位機(jī)軟實(shí)時(shí)將監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)記錄于PC機(jī)，便于管理及查閱。